クリーンテクノロジー

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▼最新号目次▼

■インフォメーション■
本誌は、発展と応用分野の拡張の時代にあるクリーンテクノロジーの総合専門誌です。毎号、クリーンテクノロジーの最新情報を、その研究・調査・企画設計から建設・維持・メンテナンスにいたるまで、ソフトとハードの両面にわたって、実際に役立つかたちで皆様にお届けしてまいります。
[出版社]日本工業出版
[発刊日]2014/12/05
[発売日]毎月5日
■定期購読
[期間]6ヶ月
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[期間]1年
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■最新号目次■
■特集:進化するミニマルファブ
○ミニマルファブ開発の進展/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/原史朗
○ミニマルファブによるデバイス試作/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗
○ミニマル装置群で作製したデバイスの電気的特性評価/ミニマルファブ技術研究組合/浅野均・居村史人・古賀和博/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン

ソマワン・原史朗/
○ミニマルパッケージング技術/(独)産業技術総合研究所/井上道弘/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/猿渡新水・原史朗/ミニマルファブ技術研究組合/居村史人/

アピックヤマダ㈱/小林一彦/㈱石井工作所/宮本清治/㈱SSテクノ/小山賢秀/澁谷工業㈱/安田正二/九州大学/浅野種正/
○ミニマルファブの局所クリーン化技術/ミニマルファブ技術研究組合/谷島孝・安井政治・田島奈穂子/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・前川仁

・原史朗/デザインネットワーク㈱・ミニマルファブ技術研究組合/二川真士・増田開/
○真空対応ミニマル搬送系:vacPLADの開発/タツモ㈱・ミニマルファブ技術研究組合/今井慎一・廣田健二/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/前川仁・原史朗/
○ハーフインチウェハの評価/ミニマルファブ技術研究組合/梅山規男・奥田修史/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗/
○薬液を極小化するミニマルウェット洗浄プロセス開発/ミニマルファブ技術研究組合/松田苑子/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗/
○薬液を極小化するミニマル現像プロセス開発/ミニマルファブ技術研究組合/奥田修史/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗/
○ミニマルマスクレス露光装置/㈱ピーエムティー・ミニマルファブ技術研究組合/入田亮一
○ミニマルマスクレス露光装置の評価/ミニマルファブ技術研究組合/北山侑司/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗/
○ミニマルマイクロプラズマエッチングプロセス/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/清水禎樹・中野禅・小木曽久人・クンプアン ソマワン・原史朗/ミニマルファブ技術研究組合/田中宏幸/三友製作所㈱/白山裕也・横須賀俊太郎・加藤木真紀・新堀俊一郎・高橋賢
○ミニマルスパッタ成膜装置の開発とその評価/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/小木曽久人・中野禅・クンプアン ソマワン・原史朗/誠南工業㈱・ミニマルファブ技術研究組合/加藤旭彦/(独)産業技術総合研究所/行村健/誠南工業㈱/薮田勇気
○Si熱酸化によるミニマル抵抗加熱炉の評価/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/池田伸一・石田夕起・原史朗/ミニマルファブ技術研究組合/中戸克彦/光洋サーモシステム㈱・ミニマルファブ技術研究組合/森川清彦・服部昌
○二重レーザ方式を用いたミニマルレーザ加熱炉の開発/ミニマルファブ技術研究組合/遠江栄希/坂口電熱㈱・ミニマルファブ技術研究組合/千葉貴史・寺田昌男/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/原史朗
○ミニマル液体ドーピングプロセス/ミニマルファブ技術研究組合/古賀和博・梅山規男・居村史人・浅野均・遠江栄希/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアンソマワン・原史朗
○ミニマルCMP装置の評価/ミニマルファブ技術研究組合/梅山規男/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/クンプアン ソマワン・原史朗
○ミニマルCVD装置開発/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/石田夕起・池田伸一/ミニマルファブ技術研究組合/中戸克彦・三ケ原孝則
○ミニマルイオン注入装置開発/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/大平俊行・原史朗/富士・インパック㈱・ミニマルファブ技術研究組合/北村是尊
○ミニマルウェハ微粒子スキャナの開発/㈱山梨技術工房/吾妻俊樹・名倉義信/ミニマルファブ技術研究組合/遠江栄希/(独)産業技術総合研究所・ミニマルファブ技術研究組合/原史朗
■解説
○加速試験によるウェーハ表面TDHの評価 7 /半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
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