クリーンテクノロジー

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■インフォメーション■
本誌は、発展と応用分野の拡張の時代にあるクリーンテクノロジーの総合専門誌です。毎号、クリーンテクノロジーの最新情報を、その研究・調査・企画設計から建設・維持・メンテナンスにいたるまで、ソフトとハードの両面にわたって、実際に役立つかたちで皆様にお届けしてまいります。
[出版社]日本工業出版
[発刊日]2015/04/05
[発売日]毎月5日
■定期購読
[期間]6ヶ月
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[期間]1年
┗価格20000円
[期間]3ヶ月
┗価格5000円
[アクセスランキング]1927位
[販売ランキング]1690位
[お試し期間]30日
レビュー(2)

一冊定価:¥2138
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■最新号目次■
■特集:活用が進むナノインプリント技術
○ナノインプリントの歴史と現状/兵庫県立大学/松井真二
○ナノインプリント技術の応用展開/㈱日立製作所/宮内昭浩
○ナノインプリント製フォトニック結晶を用いたバイオセンサー開発/大阪府立大学大学院/遠藤達郎
○最新のUVインプリントリソグラフィ技術とそのフォトニクスデバイスへの応用/㈱デアネヒステ/中尾正史
○太陽電池表面を黒くするナノインプリント技術/奈良先端科学技術大学院大学/石河泰明
○ナノレオロジープリンティング/北陸先端科学技術大学院大学/下田達也
○ナノインプリント・テンプレート計測用 CD-SEM/㈱ホロン/中村直行
■解説
○FFUのリアルタイム制御によるクリーンルームの省エネ/清水建設㈱/中村卓司
○次世代Cu/Co配線に適応したpost-CMP洗浄液の開発/三菱化学㈱/原田憲・鈴木敏之
○シリコン・ウェーハのバルク金属汚染④/半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
○クリーンルームにおける空中浮遊微生物のモニタリング/メルク㈱/田中暁典
○マルチパターニング技術の開発状況/東京エレクトロン㈱/八重樫英民
■連載
○室内カビ汚染の評価・計画・対策技術 3
カビ耐性建材の選定技術/鹿島建設㈱/冨田洸・武廣絵里子・澤田瑞恵
■製品紹介
○クリーンルームの水加湿方式による省エネルギー化/㈱いけうち/江崎寛通
■研究室紹介
○東京農工大学農学部環境資源科学科無機地球化学研究室/東京農工大学/畠山史郎
○筑波大学パワーエレクトロニクス研究室/筑波大学/岩室憲幸
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