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ｸﾘｰﾝﾃｸﾉﾛｼﾞｰ
2023年11月号
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■目次■
特集 MEMS分野の最新動向
■MEMS分野の動向
/㈱ﾒﾑｽ･ｺｱ江刺正喜
本稿では､半導体微細加工をﾍﾞｰｽにｼｽﾃﾑの鍵を握るｾﾝｻ等を作るMEMSの動向について紹介する｡多様な知識と一連の装置で様々なﾆｰｽﾞに応えるため､開発がﾎﾞﾄﾙﾈｯｸでﾋﾞｼﾞﾈｽは容易でないがその工夫を紹介する｡
■試作ｺｲﾝﾗﾝﾄﾞﾘにおけるﾃﾞｰﾀ収集･利活用
/東北大学戸津健太郎
本稿では､MEMSをはじめとするﾃﾞﾊﾞｲｽ開発のためのｵｰﾌﾟﾝな大型研究開発施設である東北大学試作ｺｲﾝﾗﾝﾄﾞﾘのこれまでの活動と､新たな取り組みであるﾌﾟﾛｾｽﾃﾞｰﾀの収集と今後の利活用について紹介する｡
■ﾏｲｸﾛﾏｼﾝｾﾝﾀｰの活動の歩みと今後の展望
/(一財)ﾏｲｸﾛﾏｼﾝｾﾝﾀｰ長谷川英一
ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ/MEMS等の研究開発を行うとともに内外交流､標準化､人材育成､ﾐﾆﾌｧｳﾝﾄﾞﾘの提供などの環境整備活動を通じて､30年以上に亘りわが国MEMS産業の発展に寄与している｡
■ 球面ﾏｽｸﾚｽ露光装置によるﾎﾞｰﾙSAWｾﾝｻの製造とその応用
/ﾎﾞｰﾙｳｪｰﾌﾞ㈱竹田宣生
ﾃﾞｼﾞﾀﾙ･ﾏｲｸﾛﾐﾗｰ･ﾃﾞﾊﾞｲｽ(DMD)による球面ﾏｽｸﾚｽ露光装置を用いて､直径3.3 mmの球体上に微細ﾊﾟﾀｰﾝを露光し､ﾎﾞｰﾙSAWｾﾝｻを製造した｡本稿では､このｾﾝｻを検出器とした超小型可搬ｶﾞｽｸﾛﾏﾄｸﾞﾗﾌも紹介する｡
■3次元ﾘｿｸﾞﾗﾌｨ技術による生体模倣ｼｽﾃﾑの構築
/京都大学平井義和･他
創薬ｽｸﾘｰﾆﾝｸﾞにおける従来の前臨床ﾓﾃﾞﾙの代替法として､生体模倣ｼｽﾃﾑが注目されている｡本稿では､ﾏｲｸﾛ加工技術で作製した生体模倣ｼｽﾃﾑを細胞ｱｯｾｲや疾患のﾒｶﾆｽﾞﾑ解明へ応用した研究例を紹介する｡
■異分野で頼られるMEMS技術
/東京都市大学藤田博之
MEMS技術の進歩により､異分野の研究者が既存技術としてMEMSを使いこなす時代になった｡光､化学､熱の基礎からﾛﾎﾞｯﾄや情報通信の応用まで､MEMSを用いて新規の原理実証や機能実現が可能になる｡
■ 立体ｻﾝﾌﾟﾙの加工をﾌｫﾄﾘｿｸﾞﾗﾌｨで可能にする潜像法
/豊田工業大学佐々木実
本稿では､平凸ﾚﾝｽﾞなど立体に微細ﾊﾟﾀｰﾝを転写する技術を紹介する｡ﾚｼﾞｽﾄ膜を､基材ではなくｼｰﾄ状の固体として用意し､立体に貼り付ける点が新しい｡

特集ｴｱﾌｨﾙﾀの最新動向
■ｴｱﾌｨﾙﾀのﾊﾞｲｵ除染に関する動向
/ﾆｯﾀ㈱茂田誠･他
本稿では､無菌環境の構築･維持のために使用されているｴｱﾌｨﾙﾀの過酢酸蒸気(VPA)を用いたﾊﾞｲｵ除染に関して動向をまとめて紹介する｡
■ HEPAﾌｨﾙﾀｰ付薄型空気清浄機における
ｸﾘｰﾝﾓﾆﾀｰによる省ｴﾈ自動制御ｼｽﾃﾑの検討
/日本ｴｱｰﾃｯｸ㈱岡本守
簡易的なｸﾘｰﾝﾓﾆﾀｰの清浄度信号を基に､HEPAﾌｨﾙﾀｰ付薄型空気清浄機の自動清浄度調節制御を行うことで､省ｴﾈ化を実現できるか検証を行った｡今回の検証例では､40%以上の省ｴﾈ効果を確認できた｡
■高濃度ｴｱﾛｿﾞﾙへの光散乱ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀの適用
/㈱ﾊﾟｰﾃｨｸﾙﾌﾟﾗｽ水野眞人･他
本稿では､市販のｼｰｽｴｱ･ﾊﾟｰｼﾞｴｱを用いない新しい構造の光散乱ｾﾙを採用したOPCを多分散高濃度ｴｱﾛｿﾞﾙに適用し､ｺｲﾝｼﾃﾞﾝｽﾛｽの測定結果への影響についての検討を紹介する｡

解説
■半導体ﾌﾟﾛｾｽにおけるCMP技術の適用
/九州工業大学鈴木恵友
今後､CMPにおいてはﾊﾟﾜｰ半導体の普及にともないSiC､GaN､ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞなどの難加工材料を如何に効率的に材料除去する手法を確立していくとともに､ｼﾘｺﾝ半導体におけるﾌﾛﾝﾄｴﾝﾄﾞﾌﾟﾛｾｽの微細化への適用やﾊﾞｯｸｴﾝﾄﾞﾌﾟﾛｾｽにおける高効率研磨を如何に低ｺｽﾄで実現させるかなどに､適用させていく必要がある｡本稿では､CMPの研究を通して感じているCMPの現状と課題について紹介する｡
■家庭用空気清浄機の汚染物質除去性能の実態
/東北文化学園大学野崎淳夫
空気清浄機の国際試験法の制定作業が進み､IEC63086-1が制定され､試験室などの一般事項が公示された｡現在､粉塵､ｶﾞｽ､微生物試験の子細が検討されている｡本稿では､この動向を踏まえ､市販空気清浄機の汚染物質除去性能をCADRで明らかにした｡
■ｵｿﾞﾝ水によるSARS-CoV-2の不活化機構の新展開
/摂南大学中室克彦
本稿では､ｵｿﾞﾝ水によるSARS-CoV-2の不活化機構において､感染成立に必須のｽﾊﾟｲｸ(S)糖ﾀﾝﾊﾟｸ質中ｱﾐﾉ酸残基に対する酸化的攻撃によるACE2受容体の結合阻害が､SARSCoV-2不活化に寄因することを解説する｡
■再生医療の細胞培養加工施設(CPF)の計画
/ﾀﾞｲﾀﾞﾝ㈱多田光輝
再生医療等製品は生きた細胞を用いた製剤である｡一方で､現状は直接人が細胞操作という重要工程を行うため､製造施設では厳重な衛生管理が行える構造設備が必要である｡本稿では､これらの点を踏まえ細胞培養加工施設を計画する上での留意点等について紹介する｡
■雪を中心とした地域循環産業ﾓﾃﾞﾙ
/㈱雪屋媚山商店本間弘達
北海道美唄市において1997年より産学官が雪冷熱ｴﾈﾙｷﾞｰの利用研究を進める｢美唄自然ｴﾈﾙｷﾞｰ研究会｣は､｢ﾎﾜｲﾄﾃﾞｰﾀｾﾝﾀｰ構想｣(WDC構想)を2008年に提唱｡それから2021年に㈱ﾎﾜｲﾄﾃﾞｰﾀｾﾝﾀｰが設立し､事業化を進めている｡本稿では､これらの事業背景や概要､WDC構想の現状や今後の計画などについて紹介する｡

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